UP1L科研用**高纯气体纯化器

**高纯气体纯化技术是有色金属研究总院“十三五”重点产业化方向。在“十二五”期间**项目科研成果基础上研发的气体纯化材料，具有处理量大、去除杂质种类多、吸附深度大、使用寿命长等优点，并以此为核心技术开发出多个型号的惰性气体、氢气和氮气等**高纯气体纯化装置。同时，有研总院自身具备不断创新的研发能力，成套的纯化材料生产、纯化器组装技术，以及完善的纯化器性能测试条件，可根据用户需求设计完整解决方案、定制非标产品，并提供各项性能检测服务，目前产品已应用于中国科学院理化所、中国核工业集团、西南化工研究设计院、北京师范大学、北京航空航天大学、北京科技大学、国家有色金属材料检测中心，哈尔滨师范大学等单位获得应用。
UP1L **高纯气体纯化器采用活性金属为化学吸附剂，当原料气通过活性金属纯化床时，气体中O 2，H2O，*2，CO，CO2，CH4等杂质气体与活性金属发生化学吸附反应，根据原料气纯度不同，一次纯化后出口气体纯度即达到 7*-8*，可实现无人值守全自动运行，并具有实时监测、故障报警和反馈等功能。为保证产品质量，纯化器系统管路连接全部采用 Swagelok 全自动轨道焊机焊接，漏率低于 10－9 Pa；关键部件焊接、组装、生产均在千级**净环境中进射流冲蚀试验机便于在各种条件下测定的磨损率。磨损率可 以用来确定在给定操作条件的较佳材料。它也可以被用来预测使用寿命和寿命周期成本。
UP系列气体纯化器
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委托上海正帆科技公司对 GRI*M-UP1L 氩气纯化器性能检测结果
 
气体类型
H2
O2/Ar
*2
CH4
CO
CO2
H2O
单位
原料气
0.074
<0.01
0.248
<0.01
<0.01
<0.01
未测试
ppm
纯化后
<0.01
<0.01
<0.01
<0.01
<0.01
<0.01
<0.033
ppm
部分用于现场照片：
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山西中升钢厂光谱仪配套UP10M使用现场，分析用气体纯度达到光谱仪检测所需的较高级的绿色。
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北京科技大学CVD设备用的多台UP1L氩气纯化器
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西南化工研究院定制 20MPa/30*m3 氩气纯化器
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搭载氢气纯化的电解水制氢/在线纯化系统，用于人造钻石生产高纯氢场合
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UP1L **高纯气体纯化器产品参数：
l  原料气纯度要求：≥99.999%，He/Ar/H2 /*2
l  产品气纯度：≥99.99999%
l  产品气杂质含量：
H2O ≤5ppb
O2 ≤10ppb
*2 ≤10ppb（原料气非 *2 ）
H2 ≤10ppb（原料气非 H2 ）
CO ≤10ppb
CO2 ≤10ppb
CH4 ≤10ppb
*MHC ≤10ppb
l  较大工作流量：1000sccm
l  内置颗粒过滤器：2 微米
l  软件功能：可显示多达7种工作状态或故障报警，并具有寿命计时及提醒功能
l  扩展功能：多台纯化器可同一终端批量控制，也可与其他设备集成使用
l  较大工作压力：1.0MPa
l  进出气接口：1/8″卡套或VCR 接头
l  纯化柱及管路：EP级316不锈钢
l  电源电压及功率：220V，0.8kw
l  产品外形尺寸：170×160×320mm
 
气体纯化器是集成电路、LED、太阳能板、光纤、燃料电池等制造工艺中必不可少的重要装备，并可有效提高离子溅射、薄膜生长、焊接、配气等多项技术的工艺性能。UP1L **高纯气体纯化器系列主要服务于各类科研与分析仪器，如气相色谱仪、辉光质谱仪、光谱仪、镀膜机等，为其提高高纯度载气或分析气，也可用于保证材料气相沉积生长、磁控溅射镀膜、高精度焊接等用气纯度。
气体种类
产品用途
应用领域
He
载气、保护气纯化
色谱仪等分析仪器载气
Ar
载气、保护气、吹扫气纯化
辉光质谱仪、磁控溅射、纳米材料制备，热处理保护气，氩弧焊吹扫气
*2
保护气、吹扫气纯化
磁控溅射反应气、气路吹扫气
H2
反应气、保护气纯化
材料生长、镀膜反应气、退火保护气